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关于氢氟醚
HYDROFLUOROETHERS (HFEs)


氢氟醚是由氢、氟、氧和碳原子构成的化合物,具有醚结构,臭氧消耗潜能值ODP为零,全球暖化潜势系数GWP 低,且大气停留时间很短,被认为是CFCs 理想替代品。除优良的环境性质外,氢氟醚还具有优秀的热稳定性和化学稳定性、适度的溶解性、毒性低、无腐蚀性、不燃、不产生烟尘、材料兼容性好等特点,易于贮藏和运输,被广泛应用于医疗、电子、金属、精密器械、光学镜片、通信及航空航天等众多领域。

用作清洗剂
可用于清洗半导体刻蚀腔体及零件;清除氟素残留堆积物;清洗FOUPs(前开式标准晶圆盒);清洗精密电子零件的颗粒杂质;清洗LCD/OLED显示器、光学零件及镜片;清洗汽车引擎零件;清洗通讯设备及航空引擎、输氧管路设备;清洗医疗设备零件等。
用作溶剂
可用于气密性测试和耐电压测试的媒介物;电子涂层、屏幕涂层稀释剂;氟油、氟树脂、氟涂层稀释剂;可燃性溶剂的燃点调整剂;反应溶媒以及分析用萃取溶剂等。
用作冷媒
可用于数据中心沉浸式冷媒;功率器件沉浸式冷媒;干法刻蚀装置、光刻装置、离子喷射装置、探头及信息处理装置的控温冷媒;也可用于食品工业冷却装置、冷冻干燥、橡胶塑料的冻结粉碎、化学医药品工业冷却装置等。

氢氟醚产品去污能力对比
清洗、干燥、溶剂、冷媒等选用建议

  • 氢氟醚
    常用名:HFEs, HFE Fluids
    CAS号:---
    产品编号:HFE 7100/7200/7300/7500
    应用推荐:清洗轻度污物,冷媒,溶剂
  • 电子级氢氟醚
    常用名:High Purity HFE Fluids
    CAS号:---
    产品编号:HFE 7100EL/7200EL/7300EL
    应用推荐:精密清洗,冷媒,溶剂
  • 氢氟醚共沸物/共混物
    常用名:HFE Blends
    CAS号:---
    产品编号:HFE DA/DE/IPA
    应用推荐:清洗中重度污物,冷媒,溶剂

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